Sadestumine
Saage teadmisi ja kiirendage arendusprotsessi.
Advanced Energy pakub toiteallika- ja juhtimislahendusi kriitiliste õhukese kile sadestamise rakenduste ja seadmete geomeetria jaoks. Kiipide töötlemisega seotud probleemide lahendamiseks võimaldavad meie täppisvõimsuse muundamise lahendused teil optimeerida võimsuse täpsust, kiirust ja protsessi korduvust.
Pakume laia valikut raadiosagedusi, alalisvoolu toitesüsteeme, kohandatud väljundvõimsuse tasemeid, sobitustehnoloogiaid ja fiiberoptilisi temperatuuri jälgimislahendusi, mis võimaldavad teil protsessiplasmat paremini juhtida. Samuti integreerime Fast DAQ™ ja meie andmete kogumise ja ligipääsetavuse komplekti, et pakkuda protsessist ülevaadet ja kiirendada arendusprotsessi.
Lisateavet meie pooljuhtide tootmisprotsesside kohta leiate siit, et leida oma vajadustele vastav lahendus.
Sinu väljakutse
Alates integraallülituste mõõtmete mustrite loomiseks kasutatavatest kiledest kuni juhtivate ja isoleerivate kiledeni (elektrilised struktuurid) ja metallkiledeni (ühendused) – teie sadestamisprotsessid vajavad aatomitasandi juhtimist – mitte ainult iga omaduse, vaid kogu vahvli ulatuses.
Lisaks struktuurile endale peavad teie sadestatud kiled olema kõrge kvaliteediga. Neil peab olema soovitud terastruktuur, ühtlus ja konformne paksus ning need peavad olema poorideta – lisaks vajalikele mehaanilistele pingetele (surve- ja tõmbetugevus) ja elektrilistele omadustele.
Keerukus ainult kasvab. Litograafia piirangute (alla 1X nm sõlmed) lahendamiseks nõuavad isejoonduvate kahe- ja neljakordsete mustrite loomise tehnikate puhul teie sadestamisprotsess mustri igale kiibile tekitamist ja reprodutseerimist.
Meie lahendus
Kõige kriitilisemate sadestamisrakenduste ja seadmegeomeetriate juurutamisel vajate usaldusväärset turuliidrit.
Advanced Energy raadiosageduslik toiteallikas ja kiire sobitamise tehnoloogia võimaldavad teil kohandada ja optimeerida kõigi täiustatud PECVD ja PEALD sadestamisprotsesside jaoks vajalikku toite täpsust, täpsust, kiirust ja protsessi korduvust.
Kasutage meie alalisvoolugeneraatori tehnoloogiat, et peenhäälestada oma konfigureeritavat kaare reaktsiooni, võimsuse täpsust, kiirust ja protsessi korduvust, mida on vaja PVD (pihustamise) ja ECD sadestamisprotsesside jaoks.
Kasu
● Täiustatud plasma stabiilsus ja protsessi korduvus suurendavad saagikust
● Täpne raadiosagedus- ja alalisvoolu edastamine koos täieliku digitaalse juhtimisega aitab optimeerida protsessi efektiivsust
● Kiire reageerimine plasma muutustele ja kaare haldamisele
● Mitmetasandiline pulseerimine adaptiivse sageduse häälestamisega parandab söövituskiiruse selektiivsust
● Maksimaalse tööaja ja toote jõudluse tagamiseks on saadaval ülemaailmne tugi