MSB-seeria keskmise sagedusega pihustustoiteallikas
-
MSB-seeria keskmise sagedusega pihustustoiteallikas
RHH-seeria RF-toiteallikas tugineb küpsele raadiosagedusliku genereerimise tehnoloogiale, et pakkuda klientidele suurema võimsusega, suurema täpsusega ja kiire reageerimisega RF-toiteallikat.Faasi abil saab seadistada, impulssjuhtida, digitaalset häälestust ja muid funktsioone.Kohaldatavad valdkonnad: fotogalvaaniline tööstus, lameekraanitööstus, pooljuhtide tööstus, keemiatööstus, labor, teadusuuringud, tootmine jne.
Kohaldatavad protsessid: plasma tõhustatud keemiline aurustamine-sadestamine (PECVD), plasma söövitus, plasmapuhastus, raadiosageduslik iooniallikas, plasma difusioon, plasma polümerisatsiooni pihustamine, reaktiivne pihustamine jne.