MSB-seeria keskmise sagedusega pihustustoiteallikas

Lühike kirjeldus:

RHH-seeria RF-toiteallikas tugineb küpsele raadiosagedusliku genereerimise tehnoloogiale, et pakkuda klientidele suurema võimsusega, suurema täpsusega ja kiire reageerimisega RF-toiteallikat.Faasi abil saab seadistada, impulssjuhtida, digitaalset häälestust ja muid funktsioone.Kohaldatavad valdkonnad: fotogalvaaniline tööstus, lameekraanitööstus, pooljuhtide tööstus, keemiatööstus, labor, teadusuuringud, tootmine jne.

Kohaldatavad protsessid: plasma tõhustatud keemiline aurustamine-sadestamine (PECVD), plasma söövitus, plasmapuhastus, raadiosageduslik iooniallikas, plasma difusioon, plasma polümerisatsiooni pihustamine, reaktiivne pihustamine jne.

Toote üksikasjad

Tootesildid

Saada meile e-kiri

Funktsioonid

● Pooltellistest ja riiulist kinnitusviisid

● Kasutage täielikku digitaalset juhtimist mugava ja rikkaliku töömenüüga

● Sageduse häälestamise, impulsi ja impulsside sünkroniseerimise funktsioonid

● CEX-faasi sünkroniseerimise funktsiooniga

● Täiuslik kaitsefunktsioon

Toote üksikasjad

Sisend	Sisendpinge: AC220V±10% 3ΦAC380V±5% (spetsiaalseid spetsifikatsioone saab kohandada)
Sisend	Sisendsagedus: 47~63Hz
Väljund	Väljundsagedus: 13,56MHz, 27,12MHz, 40,68MHz
	Häälestusvahemik: ±5%
	Väljundvõimsus: 1,5~5kW
	Väljundvõimsuse reguleerimisvahemik: 1-100%
	Väljundtakistus: 50Ω+j0
	Väljundliides: tüüp N
	Väljundrežiim: pidev, impulss
	Impulsi sagedus: 100Hz ~ 100kHz
	Töötsükkel: 5-95%
Toimivusindeks	Võimsustegur: 0,98
	Sageduse stabiilsuse täpsus: ±0,005%
	Tõhusus: 75% (nimivõimsusel)
	Harmooniline: ＜-45dBc
	Hulk: ＜-50 dBc
	Väline juhtimisliides: analoogkogus, side ja sünkroonimine
	Siderežiim: Standardne RS485 sideliides;Valikuline Ether CAT, tööstuslik Ethernet jne.
Märkus: toote uuendused jätkuvad ja jõudlus paraneb.See parameetri kirjeldus on ainult viitamiseks.