TPM5 seeria toitekontroller
-
TPM5 seeria toitekontroller
TPM5 seeria võimsuskontroller võtab kasutusele mooduli disaini idee ja integreerib kuni 6 vooluahelat. Tooteid kasutatakse peamiselt difusioonahjudes, PECVD-s, epitaksiahjudes jne.